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中科院立大功!国产光刻机迎来技术突破ASML担心的情况出现了


来源:ld体育app下载
发布时间:2025-05-11 21:10:18

  2024年3月25日,中国半导体产业迎来历史性时刻——中国科学院光电技术研究所宣布成功研发出全固态深紫外(DUV)光源技术。这一突破不仅意味着我国在光刻机核心部件领域实现零的突破,更标志着全球光刻机产业格局正在发生结构性裂变。当中国科研团队首次公开193nm全固态相干光源的稳定输出画面时,国际半导体产业链为之震动,荷兰光刻机巨头ASML的股价当日应声下跌5.2%。

  2018年的冬天,中国工程师团队在荷兰费尔德霍芬的遭遇,成为刺痛整个中国半导体界的光刻机之殇。彼时,ASML首席技术官在回绝参观请求时那句即便公开图纸,中国也造不出EUV的断言,折射出西方世界对技术垄断的绝对自信。这种自信建立在《瓦森纳协定》构建的严密技术封锁体系之上——美国Cymer公司的准分子激光光源、德国蔡司的纳米级光学系统、日本JSR的光刻胶,以及ASML超过10万项专利构筑的技术柏林墙,将中国隔绝在高端芯片制造领域之外。

  但历史总是惊人相似。从两弹一星到北斗导航,从盾构机到特高压,中国科技发展史本质上是一部反封锁史。2023年多个方面数据显示,我国半导体设备国产化率已从2018年的7.3%提升至21.6%,其中清理洗涤设施、刻蚀机等细致划分领域突破明显。但光刻机作为半导体工业皇冠,其核心部件国产化始终是最大短板。全固态DUV光源的突破,恰如庖丁解牛般精准切入光刻机技术链的最薄弱环节。

  当前全球DUV光刻机普遍采用ArF准分子激光方案,通过电离氩氟混合气体产生193nm激光,这种技术路线存在三大致命缺陷:每小时消耗价值300美元的氩氟混合气体,单台设备年经营成本高达260万美元;工艺极限止步于7nm制程;核心技术被ASML、Cymer等企业垄断。而中科院研发的全固态DUV光源,采用国产非线性光学晶体(LBO)实现波长转换,从根本上重构了技术路径。

  从技术参数看,新光源的线W/cm²,支持更高数值孔径的光学系统;更关键的是,其模块化设计使维护成本降低70%。上海微电子正在适配测试的SSA/800-10W光刻机样机显示,该技术可将半导体工艺直接推进到3nm节点,这在某种程度上预示着中国有望跳过EUV光刻阶段,立即进入混合(Hybrid)光刻时代。

  ASML最新财报显示,2023年对中国大陆销售额同比下降42%,在其全球营收占比从36.1%锐减至19.7%。为应对中国技术突破,ASML紧急启动凤凰计划:投资2亿欧元升级韩国维修中心,在新加坡建立亚太区最大备件仓库,并重组技术团队试图构建售后壁垒。但行业分析师指出,这些举措更像是困兽之斗——全固态光源技术使DUV光刻机成本结构发生根本改变,中国方案的生产所带来的成本预计仅为ASML DUV设备的60%。

  更深远的影响在于技术路线的颠覆。中国科研团队已证实,全固态DUV光源可与自研的13.5nm极紫外(EUV)光源形成技术协同。这种双光源混合光刻方案,通过DUV完成前道制程、EUV处理关键层的新模式,可能彻底改写《国际半导体技术路线图》。台积电首席技术官黄汉森坦言:这就像智能手机颠覆功能机,不是简单的性能超越,而是生态系统的重构。

  尽管突破令人振奋,但必须清醒认识到:我国在光刻机领域仍面临三重挑战,其一,光学系统精度与蔡司仍有0.5nm级差距;其二,双工件台定位精度需突破0.8nm;其三,光刻胶等配套材料国产化率不足15%。ASML正在加速研发High-NA EUV光刻机,其0.55数值孔径系统可支持1nm制程,这提醒我们技术竞赛永无止境。

  值得关注的是,欧盟近期突然转变态度,宣布向中国开放欧洲芯片法案合作。这种策略转变的背后,是欧洲半导体设备商高达27%的产能闲置率。对此,中国工程院院士谭久彬的警示发人深省:从超算芯片到存储颗粒,每次我们突破到‘最后一公里,西方就会突然解除封锁。这种‘卡放结合的策略,比单纯封锁更具威胁性。

  历史经验表明,真正的技术自主权从来不是馈赠所得。1938年,荷兰物理学家德拜因发现准分子激光效应获得诺贝尔奖时,或许不曾想到这项基础研究会在80年后成为扼制中国科技发展的锁链。今天,当中科院的激光在非线nm相干光时,我们正真看到的不仅是一束的科技之光,更是一个民族在创新长征路上永不停歇的精神火炬。这场光刻机突围战没有终点,有的只是不断被刷新的起跑线。

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  2024年11月的第十五届中国航展上,“海上攻防”主题展出中,歼-35舰载战斗机1:5模型首次展出,与歼-15T舰载战斗机、直-18F舰载反潜直升机、翼龙-2反潜巡逻无人机系统等同台亮相。

  在5月9日举行的俄罗斯纪念苏联伟大卫国战争胜利80周年阅兵式上,大量俄军武器装备在红场亮相引发各界高度关注。从S-400防空导弹系统、“伊斯坎德尔”战术导弹与“亚尔斯”洲际弹道导弹等传统大杀器,到首次亮相的“天竺葵-2”无人机,这些装备集中体现了哪些特点?

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  当地时间5月10日,巴基斯坦外长:印巴已同意立即停火,印度外交秘书证实双方达成一致,自印度标准时间17时起,双方将停止陆、海、空一切交火和军事行动

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  日前,一名自称是李凯馨前助理的网友在微博爆料。我出生在中国,16岁又再次回到中国,今年我26岁,至今将近一半的人生都在中国度过,在这里我得到了很多机会和帮助,也能在我喜欢的事业里发光发热,对于这片土地我完全是热爱且充满感激的,在任何有关中国的立场问题上我都绝不会产生动摇。

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